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真空基礎知識
dfdf
2015-10-13 15:01:54 點擊數：
真空的定義
由低于大氣壓的氣體所充滿的空間被稱為真空。真空有不同的程度:從大氣壓到百分之一氣壓的狀態被稱為低真空,到百萬分之一的被稱為中真空,到一百億分之一的被稱為高真空,到十兆分之一的被稱為超高真空,低于十兆分之一的被稱為極高真空狀態。
到達各種真空狀態需要各種排氣泵的組合,達到中真空狀態可利用轉輪泵等機械泵,到達中真空狀態以上需要另外使用分子泵,油擴散泵,低溫泵或離子泵等。根據所需的真空狀態,各種排氣泵可適當組合。
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抽 氣 速 率 單 位 換 算 表
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單位
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立方米/秒(m3/s)
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升/秒(L/s)
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立方米/小時
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立方英尺/分
|
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1立方米/秒(1m3/s)
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1
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1000
|
3600
|
2118.88
|
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1升/秒(1L/s)
|
10-3
|
1
|
3.6
|
2.119
|
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1立方米/小時(1m3/h)
|
2.78×10-4
|
0.278
|
1
|
0.59
|
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1立方英尺/分(1cft/min)
|
2.78×10-4
|
0.47
|
1.69
|
1
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常 用 壓 強 單 位 換 算 表
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|
帕
Pa
|
托
Torr
|
微米汞柱
μmHg
|
微巴
μbar
|
毫巴
mbar
|
大氣壓
atm
|
工程大氣壓
am
|
英寸汞柱
inHg
|
磅/英寸2
lb/in2
|
|
1 Pa
|
1
|
7.5×10-3
|
7.5
|
10
|
10-2
|
9.86923×10-6
|
1.0197×10-5
|
2.953×10-4
|
1.450×10-4
|
|
1 Torr
|
133.32
|
1
|
103
|
1333.2
|
1.3332
|
1.31579×10-3
|
1.3595×10-3
|
3.937×10-2
|
1.934×10-2
|
|
1μmHg
|
0.13332
|
10-3
|
1
|
1.3332
|
1.3332
×10-3
|
1.31579×10-6
|
1.3595×10-6
|
3.937×10-5
|
1.934×10-5
|
|
1μbar
|
10-1
|
7.5×10-4
|
7.5×
10-1
|
1
|
10-3
|
9.86923×10-7
|
1.0197×10-6
|
2.953×10-5
|
1.450×10-5
|
|
1 mbar
|
102
|
7.5×10-1
|
7.5×
102
|
10-3
|
1
|
9.86923×10-4
|
1.0197×10-3
|
2.953×10-2
|
1.450×10-2
|
|
1 atm
|
101325
|
760
|
760×
103
|
1013.25
×103
|
1013.25
|
1
|
1.0333
|
29.921
|
14.696
|
|
1 am
|
98066.3
|
735.56
|
735.56×
103
|
980663
|
980663
×10-3
|
0.967839
|
1
|
28.959
|
14.223
|
|
1inHg
|
3386
|
25.4
|
25.4×
103
|
3.386×
104
|
33.86
|
3.342×10-2
|
3.453×10-2
|
1
|
4.912×10-1
|
|
1lb/in2
|
6895
|
51.715
|
51.715×
103
|
6.895×
104
|
68.95
|
6.805×10-2
|
7.031×10-2
|
2.086
|
1
|
|
